By Das A.   Le Q.T.   Furukawa Y.   Nguyen V.H.   Terzieva V.   de Theije F.   Whelan C.M.   Maenhoudt M.   Struyf H.   Tokei Z.   Iacopi F.   Stucchi M.   Carbonell L.   Vos I.   Bender H.   Patz M.   Beyer G.   Van Hove M.   Maex K.   in Microelectronic Engineering

ISSN:0167-9317|70|2|308-313

Elsevier‎(2003)‎

Access to resources Favorite 3.1364741