Fabrication, caractérisation et modélisation de micropoutres multimorphes intégrant un film piézoélectrique d'AlN comme actionneur

Author： Andrei Alexandru Krupa Katarzyna Jozwik Michal Delobelle Patrick Hirsinger Laurent Gorecki Christophe Nieradko Lukasz Meunier Cathy

Publisher： Edp Sciences

E-ISSN： 1765-2960|8|3|267-278

ISSN： 1296-2139

Source： Mécanique et Industries, Vol.8, Iss.3, 2007-08, pp. : 267-278

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Abstract

Cet article présente les potentialités de films d'AlN piézoélectriques comme éléments actionneurs pour les MEMS. Le cas de micropoutres constituées d'un empilement de différents films (électrode/AlN/électrode/substrat Si) est présenté. Un dispositif interférométrique de type Twyman-Green permet de quantifier précisément les déformées et les déplacements ce qui permet de calculer, à l'aide des équations non simplifiées, différentes grandeurs physiques des films d'AlN, par exemple le module d'Young lié à l'orientation (002) des cristallites, les contraintes résiduelles consécutives au mode d'élaboration, le coefficient de dilatation α ainsi que le coefficient piézoélectrique d₃₁. On retrouve sensiblement les valeurs du matériau massif.