Fabrication, caractérisation et modélisation de micropoutres multimorphes intégrant un film piézoélectrique d'AlN comme actionneur

Author: Andrei Alexandru   Krupa Katarzyna   Jozwik Michal   Delobelle Patrick   Hirsinger Laurent   Gorecki Christophe   Nieradko Lukasz   Meunier Cathy  

Publisher: Edp Sciences

E-ISSN: 1765-2960|8|3|267-278

ISSN: 1296-2139

Source: Mécanique et Industries, Vol.8, Iss.3, 2007-08, pp. : 267-278

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Abstract

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