基于PZT的面内压电微驱动器力学分析
Publisher： 国家哲学社会科学学术期刊数据库
E-ISSN： 1001-5477|29|5|55-62
ISSN： 1001-5477
Source： 北方工业大学学报, Vol.29, Iss.5, 2017-01, pp. : 55-62
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Abstract