Détermination des paramètres de distribution des auto-interstitiels silicium en vue de la modélisation 2-D des processus technologiques. Discussion sur la validité physique

Publisher： Edp Sciences

E-ISSN： 0035-1687|20|7|483-491

ISSN： 0035-1687

Source： Revue de Physique Appliquée (Paris), Vol.20, Iss.7, 1985-07, pp. : 483-491

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