Détermination des contraintes résiduelles et de la microstructureintra-granulaire dans des films minces de W déposés parpulvérisation magnétron
Publisher: Edp Sciences
E-ISSN: 1286-4897|7|6|1247-1260
ISSN: 1155-4320
Source: Journal de Physique III, Vol.7, Iss.6, 1997-06, pp. : 1247-1260
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