Détermination des contraintes résiduelles et de la microstructureintra-granulaire dans des films minces de W déposés parpulvérisation magnétron

Publisher: Edp Sciences

E-ISSN: 1286-4897|7|6|1247-1260

ISSN: 1155-4320

Source: Journal de Physique III, Vol.7, Iss.6, 1997-06, pp. : 1247-1260

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