电子元件用含He纳米晶钛膜高温退火后的He相关缺陷变化
Publisher： 国家哲学社会科学学术期刊数据库
E-ISSN： 2096-1936|volume|5|136-
ISSN： 2096-1936
Source： 智能城市, Vol.volume, Iss.5, 2016-01, pp. : 136-
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Abstract