基于矩阵积分法优化光刻部分相干成像模型
Publisher： 国家哲学社会科学学术期刊数据库
E-ISSN： 1674-7798|32|9|49-53
ISSN： 1674-7798
Source： 贵州师范学院学报, Vol.32, Iss.9, 2016-01, pp. : 49-53
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Abstract