多晶硅栅极刻蚀过程中边缘刻蚀缺陷的研究及改善
Publisher： 国家哲学社会科学学术期刊数据库
E-ISSN： 1672-3791|15|25|87-90
ISSN： 1672-3791
Source： 科技资讯, Vol.15, Iss.25, 2017-01, pp. : 87-90
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Abstract