基于HF酸蚀刻速率法的ULE玻璃铣磨亚表面破坏层深度检测
Publisher： 国家哲学社会科学学术期刊数据库
E-ISSN： 1008-7974|38|6|35-37
ISSN： 1008-7974
Source： 通化师范学院学报, Vol.38, Iss.6, 2017-01, pp. : 35-37
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Abstract