高定向纳米金刚石膜的高功率微波等离子体化学气相沉积研究
Publisher： 国家哲学社会科学学术期刊数据库
E-ISSN： 1008-2794|31|2|11-15
ISSN： 1008-2794
Source： 常熟理工学院学报, Vol.31, Iss.2, 2017-01, pp. : 11-15
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Abstract