Caractérisation structurale et contraintes résiduelles de films d'AIN par diffraction des rayons X

Publisher： Edp Sciences

E-ISSN： 1764-7177|08|PR5|Pr5-153-Pr5-161

ISSN： 1155-4339

Source： Le Journal de Physique IV, Vol.08, Iss.PR5, 1998-10, pp. : Pr5-153-Pr5-161

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