Une source d'ions de basse energie à flux élevé chauffée en hyperfréquences

Publisher: Edp Sciences

E-ISSN: 0035-1687|12|10|1655-1661

ISSN: 0035-1687

Source: Revue de Physique Appliquée (Paris), Vol.12, Iss.10, 1977-10, pp. : 1655-1661

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