Rôle de l'hydrogène dans le procédé de purification du silicium par plasma thermique inductif

Publisher： Edp Sciences

E-ISSN： 1286-4897|3|3|633-652

ISSN： 1155-4320

Source： Journal de Physique III, Vol.3, Iss.3, 1993-03, pp. : 633-652

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