Rôle de l'hydrogène dans le procédé de purification du silicium par plasma thermique inductif
Publisher: Edp Sciences
E-ISSN: 1286-4897|3|3|633-652
ISSN: 1155-4320
Source: Journal de Physique III, Vol.3, Iss.3, 1993-03, pp. : 633-652
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