Mise en œuvre de deux méthodes interférométriques pour la caractérisation mécanique des films minces par l'essai de gonflement. Applications au cas du silicium monocristallin

Publisher： Edp Sciences

E-ISSN： 1286-4897|5|7|953-983

ISSN： 1155-4320

Source： Journal de Physique III, Vol.5, Iss.7, 1995-07, pp. : 953-983

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