Optimisation des conditions de fonctionnement d'un pilote plasma de 25 kW pour la purification du silicium
Publisher: Edp Sciences
E-ISSN: 1286-4897|5|5|585-604
ISSN: 1155-4320
Source: Journal de Physique III, Vol.5, Iss.5, 1995-05, pp. : 585-604
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