Simulation des trajectoires d'électrons secondaires pour le test des circuits intégrés au microscope électronique à balayage

Publisher： Edp Sciences

E-ISSN： 1286-4897|2|11|2155-2163

ISSN： 1155-4320

Source： Journal de Physique III, Vol.2, Iss.11, 1992-11, pp. : 2155-2163

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