Fabrication d'un réseau d'interconnexions haute densité pour modules avancés multi-puces par une technique de lift-off

E-ISSN： 1286-4897|3|4|793-804

ISSN： 1155-4320

Source： Journal de Physique III, Vol.3, Iss.4, 1993-04, pp. : 793-804

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