'Spin-on glass' films for semiconductor technology Des films SOG pour la technologie des semi-conducteurs "Aufgesponnene Glasfilme" für die Halbleiterindustrie

Author： Shilova O A  

Publisher： Springer Publishing Company

ISSN： 1742-0261

Source： Surface Coatings International Part B: Coatings Transactions, Vol.86, Iss.3, 2003-09, pp. : 195-202

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Abstract

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