Aspects physico-chimiques de la préparation de couches minces semiconductrices par condensation de plasmas froids

Publisher： Edp Sciences

E-ISSN： 0035-1687|1|3|230-236

ISSN： 0035-1687

Source： Revue de Physique Appliquée (Paris), Vol.1, Iss.3, 1966-09, pp. : 230-236

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