Etude des propriétés électriques et physico-chimiques des couches minces de SiO2 en cours de croissance

Publisher: Edp Sciences

E-ISSN: 0035-1687|19|12|997-1003

ISSN: 0035-1687

Source: Revue de Physique Appliquée (Paris), Vol.19, Iss.12, 1984-12, pp. : 997-1003

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