Caractéristiques électriques de couches minces isolantes d'oxydes et d'oxyfluorures déposés par pulvérisation cathodique

Publisher: Edp Sciences

E-ISSN: 0035-1687|14|2|415-420

ISSN: 0035-1687

Source: Revue de Physique Appliquée (Paris), Vol.14, Iss.2, 1979-02, pp. : 415-420

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