Qualité diélectrique de couches minces isolantes de GaN obtenues par pulvérisation cathodique réactive

Publisher： Edp Sciences

E-ISSN： 0035-1687|25|6|489-497

ISSN： 0035-1687

Source： Revue de Physique Appliquée (Paris), Vol.25, Iss.6, 1990-06, pp. : 489-497

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