Couches de haute résistivité dans InP obtenues par implantation ionique

Publisher： Edp Sciences

E-ISSN： 0035-1687|19|3|191-195

ISSN： 0035-1687

Source： Revue de Physique Appliquée (Paris), Vol.19, Iss.3, 1984-03, pp. : 191-195

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