Etude XPS de films minces de NbN : décapage, oxydation à l'air, et oxydation thermique entre 20 °C et 200 °C. Comparaison avec les films minces de Nb

Publisher: Edp Sciences

E-ISSN: 0035-1687|19|12|979-986

ISSN: 0035-1687

Source: Revue de Physique Appliquée (Paris), Vol.19, Iss.12, 1984-12, pp. : 979-986

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