Modifications des caractéristiques électriques de contacts métal-silicium par bombardement d'ions argon de faible énergie

Publisher： Edp Sciences

E-ISSN： 0035-1687|19|12|971-978

ISSN： 0035-1687

Source： Revue de Physique Appliquée (Paris), Vol.19, Iss.12, 1984-12, pp. : 971-978

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