Homogénéité d'épaisseur et propriétés électriques des couches minces de silice obtenues dans un mélange N2/O2/HCl

Publisher: Edp Sciences

E-ISSN: 0035-1687|20|2|87-91

ISSN: 0035-1687

Source: Revue de Physique Appliquée (Paris), Vol.20, Iss.2, 1985-02, pp. : 87-91

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