Caractérisation de MOS par des techniques d'analyse de surface en ultra-vide au cours de leur élaboration in situ

Publisher: Edp Sciences

E-ISSN: 0035-1687|19|12|965-970

ISSN: 0035-1687

Source: Revue de Physique Appliquée (Paris), Vol.19, Iss.12, 1984-12, pp. : 965-970

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