CALCULS NUMÉRIQUES DE PROFILS D'IMPURETÉ ET D'ÉNERGIE DÉPOSÉE PAR IMPLANTATION D'IONS DE MOYENNE ÉNERGIE, COMPARAISON AVEC L'EXPÉRIENCE

Publisher： Edp Sciences

E-ISSN： 0449-1947|34|C5|C5-29-C5-34

ISSN： 0449-1947

Source： Le Journal de Physique Colloques, Vol.34, Iss.C5, 1973-11, pp. : C5-29-C5-34

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