ANALYSE DU TRANSFERT DE MATIÈRE ENTRE UN PLASMA RÉACTIF ET LE SILICIUM - ÉTUDE EXPÉRIMENTALE ET MODÉLISATION

Publisher： Edp Sciences

E-ISSN： 0449-1947|51|C5|C5-253-C5-261

ISSN： 0449-1947

Source： Le Journal de Physique Colloques, Vol.51, Iss.C5, 1990-09, pp. : C5-253-C5-261

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