Croissance de couches de Si1-xGex par réaction chimique a partir d'une phase gazeuse : étude thermodynamique et analyse du transfert de matière

Publisher： Edp Sciences

E-ISSN： 1286-4897|5|6|759-773

ISSN： 1155-4320

Source： Journal de Physique III, Vol.5, Iss.6, 1995-06, pp. : 759-773

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