Etude physicochimique et structurale de nitrures et d'oxynitrures de silicium très minces formés par traitement thermique rapide

Publisher: Edp Sciences

E-ISSN: 1286-4897|5|5|557-573

ISSN: 1155-4320

Source: Journal de Physique III, Vol.5, Iss.5, 1995-05, pp. : 557-573

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