Détermination des épaisseurs de films très minces de SiO2 sur silicium par microscopie électronique en transmission, ellipsométrie spectroscopique et spectroscopie de photoélectrons

Publisher： Edp Sciences

E-ISSN： 1286-4897|3|7|1479-1488

ISSN： 1155-4320

Source： Journal de Physique III, Vol.3, Iss.7, 1993-07, pp. : 1479-1488

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