Films de nitrure de carbone obtenus par ablation laser ArF du graphite en atmosphère d'azote. Corrélation entre l'émission du plasma et la composition du dépôt

Publisher： Edp Sciences

E-ISSN： 1764-7177|09|PR5|Pr5-145-Pr5-146

ISSN： 1155-4339

Source： Le Journal de Physique IV, Vol.09, Iss.PR5, 1999-05, pp. : Pr5-145-Pr5-146

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