Caractérisation par émission X de films de carbone et de nitrure de carbone déposés par PVD

Publisher： Edp Sciences

E-ISSN： 1764-7177|08|PR5|Pr5-279-Pr5-286

ISSN： 1155-4339

Source： Le Journal de Physique IV, Vol.08, Iss.PR5, 1998-10, pp. : Pr5-279-Pr5-286

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