Passivation de l'InP par oxydation en plasma RF oxygène et par action de HNO3 vapeur

Publisher: Edp Sciences

E-ISSN: 0035-1687|18|12|745-749

ISSN: 0035-1687

Source: Revue de Physique Appliquée (Paris), Vol.18, Iss.12, 1983-12, pp. : 745-749

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