Méthodes physiques de détermination des imperfections dans les couches hétéroépitaxiques de silicium sur substrat alumine-α

Publisher: Edp Sciences

E-ISSN: 0035-1687|4|3|345-351

ISSN: 0035-1687

Source: Revue de Physique Appliquée (Paris), Vol.4, Iss.3, 1969-09, pp. : 345-351

Disclaimer: Any content in publications that violate the sovereignty, the constitution or regulations of the PRC is not accepted or approved by CNPIEC.

Previous Menu Next