Publisher: Edp Sciences
E-ISSN: 1764-7177|108|issue|259-262
ISSN: 1155-4339
Source: Le Journal de Physique IV, Vol.108, Iss.issue, 2003-06, pp. : 259-262
Disclaimer: Any content in publications that violate the sovereignty, the constitution or regulations of the PRC is not accepted or approved by CNPIEC.
Related content
Décharge capillaire compacte et ultra-brève pour la lithographie UV extrême par projection
Le Journal de Physique IV, Vol. 11, Iss. PR7, 2001-10 ,pp. :
Étude d'une nouvelle source optique UV-VUV basée sur une décharge multicanaux de forte puissance
Le Journal de Physique IV, Vol. 11, Iss. PR7, 2001-10 ,pp. :
Le Journal de Physique IV, Vol. 127, Iss. issue, 2005-06 ,pp. :
Étude théorique et expérimentale d'une source EUV par décharge capillaire
Le Journal de Physique IV, Vol. 108, Iss. issue, 2003-06 ,pp. :