Etude de silicium implanté à l'arsenic par effet de transport. Influence du recuit thermique

Publisher： Edp Sciences

E-ISSN： 0035-1687|22|6|407-412

ISSN： 0035-1687

Source： Revue de Physique Appliquée (Paris), Vol.22, Iss.6, 1987-06, pp. : 407-412

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