Diagramme d'équilibre tridimensionnel de la condensation des plasmas froids (Ta, A, O)* obtenus par pulvérisation cathodique réactive

Publisher： Edp Sciences

E-ISSN： 0035-1687|3|2|121-126

ISSN： 0035-1687

Source： Revue de Physique Appliquée (Paris), Vol.3, Iss.2, 1968-06, pp. : 121-126

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