Etude des défauts profonds dans l'arséniure de gallium implantés en oxygène et co-implantés en silicium par la méthode FTDLTS

Publisher: Edp Sciences

E-ISSN: 1286-4897|4|6|997-1009

ISSN: 1155-4320

Source: Journal de Physique III, Vol.4, Iss.6, 1994-06, pp. : 997-1009

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