Préparation et caractérisation de couches minces d'oxynitrure de phosphore destinées à la passivation d'InP

E-ISSN： 1286-4897|6|11|1489-1506

ISSN： 1155-4320

Source： Journal de Physique III, Vol.6, Iss.11, 1996-11, pp. : 1489-1506

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