Caractérisation par émission X de films d'oxyde et d'oxynitrure de chromedéposés par pulvérisation magnétron réactive

Publisher: Edp Sciences

E-ISSN: 1764-7177|06|C4|C4-429-C4-439

ISSN: 1155-4339

Source: Le Journal de Physique IV, Vol.06, Iss.C4, 1996-07, pp. : C4-429-C4-439

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