Influence de la température de substrat sur la croissance et les propriétés des films minces de silicium amorphe déposés par pulvérisation cathodique

Author： Abdesselem S   Ouhab A   Aida M S  

Publisher： NRC Research Press

ISSN： 1208-6045

Source： Canadian Journal of Physics, Vol.81, Iss.11, 2003-11, pp. : 1293-1302

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Abstract

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